以「關於離子束的固體材料高性能化的研究」為中心，推進在半導體、新素材領域及奈米技術上離子束利用技術的基礎研究。在我國大學中，屬擁有最高水準的研究人員及設備，本研究所擁有在私立大學尚屬為數不多的離子加速器2台。這些離子加速器，被利用於Si積體電路之製造技術及下一代通信機器和電力轉換器所用材料的研究開發。同時目標為，計畫擴充近幾年備受關注的環境材料及有機EL電子學等有機材料的研究領域，更廣範地利用離子束技術。
本研究所對相關學部及大學院在籍學生開放，學生們可以利用先進大型設備。用於大學畢業及碩士論文研究等，為培養有高深知識的研究者及技術者做貢獻。同時，實施與主要半導體製造廠進行共同研究，了解產業界研究現場的氣氛。