タンデム加速器 :: 法政大学イオンビーム工学研究所

日新ハイボルテージ社製のタンデム型イオン加速器で最大加速電圧は１５０万ボルト。平成４年度に文部省の私立大学研究設備助成を得て導入されました。半導体をはじめとする、固体材料へ不純物イオンを導入する（イオン打ち込み）実験に用いられています。