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研究施設・設備等
日新ハイボルテージ社製のタンデム型イオン加速器で最大加速電圧は150万ボルト。平成4年度に文部省の私立大学研究設備助成を得て導入されました。半導体をはじめとする、固体材料へ不純物イオンを導入する(イオン打ち込み)実験に用いられています。
性能
加速電圧
加速イオン
最大イオンエネルギー
最大イオン電流
注入用ライン