委託分析業務

scatGUI,イオン注入 &チャネリングシュミレーションソフトウェア

分析ソフトウェア

scatGUI,イオン注入 &チャネリングシュミレーションソフトウェア
作成者:西村智朗
Ref. 1. T. Nishimura, M. Satoh, K. Nomoto, T. Nakamura, T. Mishima,
    "Site identification of GaN using preferential scattering effect along [1-100]axis",
    Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B 268 (2010) 1942-1944.
  2. 西村智朗、池田清治、加地徹、「GaN基板へのMgのチャネリングイオン注入」、
   法政大学イオンビーム工学研究所報告 No. 40 (2019) p9.

2021年5月10日

・近接衝突確率の角度依存性を調べる場合、厚い試料に対して出力ファイルの個数が多くなりすぎるため出力形式を行列形式にするよう見直した。
・上記に伴って行列データを2次元マップデータとして画像表示する機能も追加した。

Version  1.33

Version 1.33

2021年4月22日
  • release Version  1.31 Download
    ・保存用ファイル (拡張子 .scat)の読み書き時に層情報のファイル(scat_layer_info.out)も含めるようにした。​​​​​​​
2021年4月21日
  • release Version  1.30 Download
    ・多層構造に対する欠陥計算をサポートした。
    ・GaN関係のサンプルファイルの原子構造をa=3.19A, c=5.19Aとして再調整した。
    ・欠陥計算時に用いる原子密度や組成比情報をユニットセルの原子構造から自動的に見積もるように変更し、その結果をResultsフォームのその他のタブに表示するようにした。
    ・近接衝突確率のグラフにはこれまでGa原子のみの結果を表示していたが全元素の結果を表示するようにした。
2021年4月7日
  • release Version  1.27 Download
    ・層を追加した場合にターゲット原子構造がうまくアップデートされないことがあるため、Data update ボタンを追加した。
2021年3月19日
  • release Version 1.26 Download
     ・ scatGUIとEXCEL間のコピー&ペーストを可能にした。
              (対応した表:多段注入、原子構造指定)
    ・ GaN関連の原子構造サンプルのz方向の原子の熱振動振幅の倍率値を修正(2.268 -> 1.52)。
              (注入計算用に最表面原子構造を削除して簡略化した時の修正ミス。<0001>方向からの入射にはほぼ影響がない。)