以“关于离子束的固体材料高性能化的研究”为中心，推进在半导体、新素材领域及纳米技术上利用离子束技术的基础研究。拥有我国大学最高水平的教职员和设备，有两台在私立大学还为数不多的离子加速器。这些离子加速器，利用于Si集成电路的制造技术、及新一代通讯器械和电力转换器所用材料的研究开发。同时作为目标，计划扩充近几年备受关注的环境材料和有机EL电子学等有机材料的研究领域，以便更广范地利用离子束技术。
本研究所对有关学部和研究生院在校学生开放，学生们可以利用此高尖端大型设备，完成大学毕业论文及硕士论文研究等，为培养高深知识的研究者和技术者做贡献。同时实施与主力半导体制造厂的共同研究，了解产业界研究现场的气氛。