이온빔공학 연구소

「이온빔에 의한 고체재료의 고기능화에 관한 연구」를 중심으로 반도체, 신소재 분야 그리고 나노테크놀로지에 있어서 이온빔의 이용 기술에 관한 기초 연구를 추진하고 있습니다. 일본 대학에서는 톱 레벨의 스탭과 설비를 지니고 사립대학에서도 몇 안되는 이온 가속기를 2대나 소유하고 있습니다. 이 이온 가속기들은 Si집적회로의 제조 기술이나 차세대의 통신기기 및 전력변환기기용 재료의 연구개발에 이용되고 있습니다. 또한, 최근 주목받는 환경물질이나 유기EL•일렉트로닉스 등 유기계 재료에 대한 연구 분야의 확충을 계획하고 보다 넓게 이온빔 기술을 이용하는 것을 목표로 하고 있습니다.

본 연구소는 관련 학부•대학원에 재적하는 학생에게 개방되고 학생들은 고도 대형설비를 이용할 수 있습니다. 졸업•석사논문 연구 등에 이용되어 고도 지식•연구자•기술자의 육성에 이바지하고 있습니다. 또한, 주요반도체 메이커와도 공동 연구를 실시하여 산업계의 연구 현장 분위기를 알 수도 있습니다.

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