离子束工学研究所

以“关于离子束的固体材料高性能化的研究”为中心,推进在半导体、新素材领域及纳米技术上利用离子束技术的基础研究。拥有我国大学最高水平的教职员和设备,有两台在私立大学还为数不多的离子加速器。这些离子加速器,利用于Si集成电路的制造技术、及新一代通讯器械和电力转换器所用材料的研究开发。同时作为目标,计划扩充近几年备受关注的环境材料和有机EL电子学等有机材料的研究领域,以便更广范地利用离子束技术。

本研究所对有关学部和研究生院在校学生开放,学生们可以利用此高尖端大型设备,完成大学毕业论文及硕士论文研究等,为培养高深知识的研究者和技术者做贡献。同时实施与主力半导体制造厂的共同研究,了解产业界研究现场的气氛。

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